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transpwctor xpr3气体分析系统 低真空rga，用transpwctor xpr3进行工艺监测可为您提供有关污染程度、出气量值、气体纯度和设备运行的实时数据。

inficon（英福康）四极质谱仪（rga）简易的高功能仪器用于监测真空系统，准确地辨别常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速解除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和tcp/ip接口，用于控制toolcheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。 简单的指令组易于写入用户特定的码，将toolcheck集成于您的系统控制器。

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inficon transpector® 单压取样 (sps) 残余气体分析仪为目标高压过程提供上佳半导体晶圆和显示屏面板保护。凭借适合单压应用的敏感空气泄漏和过程污染检测，transpector sps 可大程度减少晶圆和面板报废。它具有业内比较早的检测限值和测量速度，确保晶圆和面板产品的质量和数量。transpector®sps 残余气体分析仪